無(wú)塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。就是不論外在的空氣條件如何變化，在潔凈室內(nèi)都能保持之前設(shè)定的要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

       無(wú)塵室主要的作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度和溫濕度，使在無(wú)塵室內(nèi)生產(chǎn)的產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，這樣的車間就叫作無(wú)塵車間，無(wú)塵室。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。

無(wú)塵室的構(gòu)成

無(wú)塵室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的)，否則將無(wú)法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的無(wú)塵室：

(1)天花板系統(tǒng)：包括吊桿、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。

(2)空調(diào)系統(tǒng)：包括空氣艙、過(guò)濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等。

(3)隔墻板(Partitional wall)：包括窗戶、門(mén)。

(4)地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。

(5)照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。

無(wú)塵室之建筑主體構(gòu)造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無(wú)論是何種構(gòu)造，必須滿足如下之條件：

A.不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕；

B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子；

C.吸濕性小；

D.為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高；

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