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無塵室-防止微粒子污染的四項基本原則

信息來源: nlim.cn

　　無塵室內(nèi)的浮游微粒子濃度，使用高性能的過濾器即可容易達到零水平，實際的生產(chǎn)現(xiàn)場由于作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。

無塵室內(nèi)該如何防止微粒子污染呢？應(yīng)遵守下列四項基本原則：

一、不攜入

在無塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有：

1）作業(yè)員進入無塵室前，機臺、零件攜入前應(yīng)進行清潔處理；

2）進入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。

3）通過風(fēng)淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進入無塵室。

4）機器及材料帶進無塵室前，應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進入無塵室。

5）無塵室中須全程穿戴密閉式**帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

二、不發(fā)生

在控制*大污染源--人在無塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時，也應(yīng)控制**大污染源制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動時，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵，而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到*小限度應(yīng)采取以下對策：

1）減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài)；

2）采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)；

3）采用發(fā)塵小的潤滑油；

4）機臺應(yīng)用空壓浮上的非接觸化工作原理。

三、不儲備

若能徹底實施不攜入技術(shù)，無塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動，在廣大的無塵室內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的。因此不儲備技術(shù)快速地在過濾器中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性。

在*高等級的無塵室中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數(shù)值。同時，空氣的流向也必須要有**的控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因為在流通路徑中有障礙物的話，容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域，使得附近已發(fā)生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內(nèi)，而一部分會附著在周邊機器設(shè)備的表面而引起污染。

控制氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。

動線規(guī)劃要點：要檢討分析人車路徑、配管系統(tǒng)、排氣管道、原料搬運和作業(yè)的流程等，盡量縮短動線，并避免交叉，以防止交叉污染。作業(yè)者、化學(xué)藥品、材料等動線勿集中；無塵車間四周，宜設(shè)緩沖區(qū)；制造裝置的出入，不要對作業(yè)產(chǎn)生大影響。

無塵車間不同級別空氣潔凈度的空氣過濾器的選用、布置要點：對于300000級空氣凈化處理，可采用亞高效過濾器代替高效過濾器；空氣潔凈度100級、10000級及100000級的空氣凈化處理，應(yīng)采用初、中、高效過濾器三級過濾器；中效或高效空氣過濾器宜按小于或等于額定風(fēng)量選用；中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)的正壓段；高效或亞高效空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的末端。

有些空氣凈化系統(tǒng)的空氣，如經(jīng)處理仍不能避免交叉污染時，則不能循環(huán)使用：固體物料的粉碎、稱重、配料、混合、制料、壓片、包衣、灌裝等工序；用有機溶媒精制的原料藥精制、干燥工序；放射**品生產(chǎn)區(qū)；病原體操作區(qū)；工藝過程中產(chǎn)生大量有害物質(zhì)、揮發(fā)性氣體的生產(chǎn)工序；固體口服制劑的顆料、成品、干燥設(shè)備所使用的凈化空氣。

所謂空氣過濾器(Air Filter)是指空氣過濾裝置?？諝膺^濾器主要包括有初效過濾器，中效過濾器，高效過濾器及亞高效等型號。各種型號有不同的標(biāo)準和使用效能，同時它的使用也是相當(dāng)?shù)膹V泛的，同時它的應(yīng)用也是非常的廣泛的，包括在無塵車間，無塵實驗室，無塵工廠，無塵廠房，潔凈車間都需要安裝空氣過濾器。

而無塵車間：是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、**等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。因此不論外在之空氣條件是如何的變化的，室內(nèi)都能夠俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

無塵車間*主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵車間潔凈度:以單位體積空氣中某粒徑粒子的數(shù)量多少來區(qū)別的潔凈程度.千級無塵車間,主要過濾大于或等于0.5UM塵埃粒子,其送風(fēng)量按換氣數(shù)一般在50次以上。

無塵車間安裝空氣過濾器的主要作用在于它必須要做到整個車間無塵，那么對于空氣質(zhì)量的要求自然也很好，無塵空間安裝空氣過濾器有著不同的規(guī)格，通常來說，對于300000級空氣凈化處理，可采用亞高效過濾器代替高效過濾器;空氣潔凈度100級、10000級及100000級的空氣凈化處理，那么就需要采用初、中、高效過濾器三級過濾器;而中效或者高效空氣過濾器宜則需要小于或等于額定風(fēng)量選用;同時中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)的正壓段;高效或亞高效空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的末端。

而無塵實驗室安裝空氣過濾器，無塵工廠安裝空氣過濾器，無塵廠房安裝空氣過濾器，潔凈車間安裝空氣過濾器的作用都和無塵車間安裝空氣過濾器是一樣的，另外對于空氣過濾器的選擇標(biāo)準也幾乎是一樣的。

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為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無塵室內(nèi)會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進行除電。

四、排除/除去

在無法避免大量微粒子發(fā)生的機臺中，為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下：由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是**理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向無塵室外排氣，而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內(nèi)之對策。

上一篇：無塵車間空氣過濾器的使用要**什么？
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